Электроника, радиотехника и системы связиТехнология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

11.06.01«Электроника, радиотехника и системы связи»

11.06.01_03 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники»

Русский

Программа направлена на формирование знаний в области технологии и оборудования для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники, включая знания, умения, навыки и социально-личностные качества, обеспечивающие успешность научно-педагогической деятельности.

После освоения программы аспирантуры по данной направленности выпускники будут готовы осуществлять:

- научно-исследовательскую деятельность в области проектирования и функционирования устройств микроэлектроники, в том числе теоретическое и экспериментальное исследование, математическое и компьютерное моделирование, проектирование и конструирование оборудования, а также разработки технологий для производства материалов микросистемной техники, использование и эксплуатация материалов, компонентов, электронных приборов, устройств, установок вакуумной, плазменной, твердотельной, микроволновой, оптической, микро- и наноэлектроники различного функционального назначения, получение новых материалов электронной техники и исследование их физико-химических характеристик;

- преподавательскую деятельность по образовательным программам высшего образования в области электроники, радиотехники и систем связи

Ключевые особенности:

Программа реализуется на основе сочетания теоретического и практического подхода к обучению аспирантов так, чтобы полученные знания, умения и навыки позволяли выпускникам осуществлять научное руководство проектной деятельностью в области технологии и оборудования для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники на российском и международном рынке, применять перспективные теории, технологии и оборудование при разработке технологий, создании оборудования и производстве новых материалов микросистемной техники, интерпретировать и представлять результаты научных исследований, знать теоретические основы в данной области, а также уметь использовать данную информацию в своей научно-исследовательской, прикладной и проектной деятельности.

Варианты обучения:

Очное

бюджет

Профильные дисциплины

Нанотехнологии и наноматериалы в электронной технике
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Методы анализа свойств материалов электронных компонент в микро- и наномасштабе
Прикладная оптика в задачах технологии материалов и структур
Физико-химические основы процессов химического осаждения из газовой фазы
Формирование пучков заряженных частиц для технологических применений

Профессии выпускников

Исследователь в области технологии и оборудования для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Преподаватель-исследователь в области технологии и оборудования для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Примеры тем выпускных работ

Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением
Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности
Закономерности осаждения слоёв диоксида титана из газовой фазы, содержащей тетраизопропилат титана
Разработка технологии получения слоев политетрафторэтилена химическим осаждением из газовой фазы
Технология производства микроэлектромеханических датчиков
Разработка одностадийного процесса химического осаждения нанокомпозиционных покрытий в системе "дисульфид молибдена (вольфрама) – диоксид кремния" из газовой фазы

Наиболее значимые научно-исследовательские проекты

Формирование беспористых покрытий из нанокомпозиционных материалов типа «износостойкая матрица - наночастицы дисульфида молибдена (вольфрама)», обладающих низким коэффициентом трения, методом химического осаждения из газовой фазы

Исследование основных закономерностей синтеза наноструктурированных материалов аэрозольным химическим осаждением из газовой фазы

Разработка многофункционального ряда тепловых преобразователей микросистемной техники и базовой технологии их изготовления

Исследование физико-химических закономерностей процессов плазмохимического синтеза нанопорошков в низкотемпературной плазме атмосферного давления